AIやIoTの活用が広がり半導体があらゆる用途で使われる今日、高性能な半導体の製造プロセスの中で、洗浄工程を中心に生産性を向上させる重要部品として製造装置の部品や薬液搬送用の配管に使われています。また、液晶製造装置にも同様に使われています。
半導体製造といった極限までのクリーン度を求められる環境下で使用されるチューブです。
溶接、溶着といった加工により半導体製造の各種工程で使用される製品です。
薬液を供給、貯蔵、搬送するために接液部をすべてふっ素樹脂で覆ったタンクです。
配管材料ですで薬液が通る内側すべてをふっ素樹脂で覆っています。形状に合わせた各種配管材料があります。
配管用接合部材です。ふっ素樹脂製で射出成形または機械加工で製作します。
半導体製造装置の薬液移送用に使用される機器です。接液部は全てふっ素樹脂で構成しています。
高純度薬液をシールする個所に使われるガスケットです。耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性など、さまざまな条件に対応できます。
主に洗浄工程で使用され、高品質PFAのパウダコーティングが多く用いられています。
排気ダクトの内側には、防火安全規格に準拠したETFEやECTFEのパウダコーティングが多く用いられています。
石英ガラスなどセラミックス製の部品には、高品質PFAやPCTFEのパウダコーティングが多く用いられています。
